在真空浸漬、真空干燥及真空冷凍干燥等工藝過程中,真空系統(tǒng)抽除的氣體主要是水蒸汽及其它可凝性蒸汽,其工作真空度多為10~10-1Pa,國外通常用羅茨泵與油封機(jī)械泵組合進(jìn)行抽氣。為此,近年來國外生產(chǎn)的油封機(jī)械泵都有水蒸汽最大入口壓力這個指標(biāo)(通常為103~3×103Pa),而國產(chǎn)油封機(jī)械泵一般都沒有這項(xiàng)指標(biāo),而且有的機(jī)械泵所配的氣鎮(zhèn)閥逆止作用不強(qiáng),氣鎮(zhèn)作用不顯著, 達(dá)不到大量抽水蒸汽的目的,造成水蒸汽大量地凝結(jié)于泵油中,油水混合形成白色的乳濁液,降低機(jī)械泵的密封和潤滑性能。乳蝕液會使泵體內(nèi)部生銹, 生銹的鐵粉落入油中呈赤褐色,并與泵油一起在泵內(nèi)循環(huán),這對泵的使用壽命和極限真空度等性能都帶來不良的影響。
幾種常用的抽除水蒸汽的真空系統(tǒng)為:

(1) 水蒸汽噴射泵抽氣系統(tǒng)，水蒸汽噴射泵適用于大排氣量的真空系統(tǒng),系統(tǒng)需要配置工作蒸汽源。

(2) 油增壓泵+ 油封機(jī)械泵，該系統(tǒng)不適合變壓器的氣相干燥,尤其在油增壓泵中嚴(yán)緊使用裸式電爐,否則明火易引起爆炸事故。

(3) ZJ型羅茨泵+ZJ型羅茨泵+雙級水環(huán)真空泵，該抽氣系統(tǒng)可獲得較高的極限真空度和比較大的排氣量。但是該系統(tǒng)的投資成本較大,易出現(xiàn)水環(huán)泵的工作液倒流到真空容器中去的故障,而且水環(huán)泵的抽氣效率低,單位耗電量要比滑閥泵高50%。例如各型號的羅茨水環(huán)真空泵機(jī)組。

(4) 滑閥泵+水環(huán)泵或ZJ型羅茨泵+滑閥泵+水環(huán)泵，因在系統(tǒng)中滑閥泵配有前級泵(水環(huán)泵),使其壓縮比減少,故水蒸汽很少在滑閥泵中凝結(jié),但仍存在第3項(xiàng)的缺點(diǎn)。

(5) ZJ 型羅茨泵+旋片真空泵，因油封機(jī)械泵配有高效的氣鎮(zhèn)閥、可靠的油水分離器及設(shè)計合理的潤滑系統(tǒng),使得該系統(tǒng)可以在入口水蒸汽壓力為3000Pa下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),這是近年來國外采用的經(jīng)濟(jì)、可靠的抽水蒸汽的真空系統(tǒng)。例如各型號的羅茨旋片真空泵機(jī)組。

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